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超高精度加工技術の限界を高めるテクノロジーカンパニー テクノライズ株式会社

研磨プレート・ラップ定盤
案内
主にダイヤモンド砥粒で金属プレート、樹脂混合プレート(ケメット他)とGCアルミナ等の砥粒で用いられる鋳鉄プレート、ガラスプレート等、様々な被研磨材(ワーク)にあわせたプレートを提案いたします。
各種プレートとダイヤモンド粒径レンジ表
金属プレート、樹脂混合プレートは弊社研磨装置のフェーシング機構をもちいることにより、プレートの平面管理が容易に行えるため、加工対象物の平面度の歩留まりが向上します。
製品
金属錫プレート(細粒化錫)
高純度の錫からなるプレートであり、ダイヤモンドスラリーを用いたセラミックや複合材料の仕上げ工程に最適です。 精密加工においては錫の結晶粒界がスクラッチ・異材料ラッピング時のリセッションの原因となります。
錫結晶に細粒化処理を施した錫プレートの採用により、優れた平面度、面粗さが得られ、安定した研磨レートも得られます。
金属錫合金プレート
錫にビスマス等の金属を混合したプレートであり、ダイヤモンドスラリーを用いたセラミックや複合材料の仕上げ工程に最適です。
金属添加物により金属プレートの硬度のコントロール及びスクラッチの原因となる金属の結晶粒界の形成を防ぎます。
金属銅プレート
金属銅からなるプレートであり、ダイヤモンドスラリーを用いたセラミックや複合材料を急速にラップする場合に最適です。
樹脂混合鉄プレート
樹脂混合鉄は、鉄と高分子の樹脂の複合素材からなるプレートであり、セラミック、金属、複合材料等の素材を急速にラップする場合に最適です。ダイヤモンドスラリーとの組み合わせで、従来の鋳物プレートにGC・アルミナのラップに代わる全く新しいシステムです。
樹脂混合銅プレート
樹脂混合銅は、銅と高分子の樹脂の複合素材からなるプレートであり、セラミック、フェライト、サファイア等の中仕上げ、または仕上げ工程に最適です。
樹脂混合錫プレート
樹脂混合錫は、錫と高分子の樹脂の複合素材からなるプレートであり、面粗さの追求を必要とした加工におすすめです。
樹脂混合セラミックプレート
樹脂混合セラミックは、アルミナセラミックと高分子の樹脂の複合素材からなるプレートであり、ポーラスのあるセラミックスやその他の複合材の精密仕上りラップ、ポリッシュに最適です。
アルミナセラミックの粒径により、いくつかのプレートが作成可能です。
例)ケメット製 LC(15μm),LF(5μm),XF(1μm)
鋳鉄プレート
GC・アルミナを用いたラッピング加工で最も一般的に用いられるプレートです。
グラナイトプレート(石定盤)
花崗岩(御影石)からなり、金属・シリコンウエハ等の様々な材料のラッピング・ポリッシングに用いられるプレートです。
ガラスプレート
パイレックスガラス、青板ガラス、白板ガラスなどからなり、シリコン・化合物半導体ウエハ等の様々な材料のラッピング・ポリッシングに用いられるプレートです。
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