研磨装置・研磨機
TR24S - 精密片面ラッピング・ポリッシング装置
案内
磁気ヘッド、YAG、レーザー等の高精度加工を必要とする超精密研磨に最適です。プレート面の振れや摺動抵抗等の精度を追求することにより、加工対象物に無理な力をかけずに安定した加工レートを得られ、且つ加工中のスクラッチ発生を除去しています。
また、フェーシング機構・循環式水冷機構の採用により、プレートの平坦度を常に管理・維持ができます。
加えて、オシレーション機構・強制ドライブ機構等の採用によりさまざまな高精度を要求する分野に対応したラッピング装置です。
仕様
※ 下記仕様はスタンダードモデルのものです。
ラッププレート関係
ラッププレートの大きさ 外径φ610mm
ラッププレートの回転数 0〜200rpm 無段階変速
ラッププレートの冷却方式 恒温水循環方式
フェーシング関係
フェーシングバイト 送り速度 0〜500mm/min
フェ−シングバイト 切込方法 1目0.01mmマイクロメータヘッド
オシレーション関係
オシレーション揺動ストローク 0〜45mm
オシレーション速度 無段階速度
強制駆動機構
強制駆動ドライブ数 2軸(オシレーション使用時)
強制駆動速度 無段階速度
ドライブ方式 ベルト伝達駆動
ネジ切り機構
スパイラルピッチ 0.1〜9.9mm
エアーシリンダー機構
エアーシリンダーストローク 100mm
加圧重量範囲 10〜50kg
供給エアー 0.5MPa
加工対象
最大加工サイズ 丸 約φ286mm
装置重量寸法
装置重量(フル装備) 約2,500kg
寸法(エアーシリンダー含む) 幅1,000mm×奥行1,900mm ×高さ1,800mm
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