各種洗浄装置
半導体・ウェハ洗浄機
案内
簡易的な洗浄から超精密洗浄まで、開発・試作向けの装置や高い生産性と洗浄性を兼ねた「バッチ式」や「枚葉式」等の全自動洗浄装置まで貴社のニーズにお応えいたします。
半導体・2次半導体の部材や部品・金属部品等、弊社の技術ノウハウとテクノロジーを生かした洗浄方法(超音波、ブラシ、高圧ジェット、薬液、UV等)や乾燥方法をご提案いたします。
 ※ 微細なラインやホールの中の汚れが落ちにくく、乾燥もしづらい!!
 ※ ウォーターマークが出てしまう!!
 ※ 薬液を使用した洗浄方法が分らない!! Etc
お困りの方は気軽にお問い合わせ下さい。
製品
ブラシスクラブ洗浄機
精密部品・セラミックス・ガラス基板・ウェーハ etcを受入れ後や各工程前後での粉塵の 除去、ラップ・ポリッシュ加工後の研磨材等をメカニカルに洗浄し表面に傷を付ける事無く洗浄を行い、ドライ(乾燥)までを行える洗浄装置になります。
またメンテナンス性にも優れブラシ交換がワンタッチにて可能な為、各プロセスで幅広くご使用を頂いております。
■ 片面スクラブ洗浄機: カタログダウンロード
ブラシスクラブ洗浄機
純水スピン洗浄乾燥機
TCL300SPWSiウェーハや硝子基板の表裏面のほこり等を短時間で、洗浄から乾燥まで行える洗浄装置になります。作業プロセスとして専用回転テーブルに加工対象物をセットし、回転させながら(MAX2000rpm)、加工対象物の表裏同時に純水で(5L/min)洗浄を行い、ドライ(乾燥)までをワンタッチで行えます。
■ 卓上型両面純水スピン洗浄乾燥機 TCL300SPW: カタログダウンロード
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